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當前位置：首頁產品中心測溫儀半導體&薄膜測溫Sekidenko OR4000T 半導體高溫計

Sekidenko OR4000T 半導體高溫計
產品簡介：

Sekidenko OR4000T 半導體高溫計可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導體工藝過程，應用于半導體硅片，外延，晶圓鍍膜等各種工藝的高精度測溫;OR4000T型具備多通道能力，支持高達2kHz的讀取速率，符合半導體應用中極為嚴格的要求。

其采用模塊化設計，可快速量身定制。

產品廠地：上海市

更新時間：2025-03-18

廠商性質：代理商

訪問量：1386

服務熱線

021-52966696

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產品介紹

主要特性

優(yōu)點:

  • 提高可重復性并顯著減小誤差提高生產率、產量和生產能力

  • ·提高多個腔室和基材的穩(wěn)定性和可靠性


特點:

  • ·主動輻射率檢測和補償

  • 溫度和輻射率讀取速率快

  • ·模塊化的結構具有高靈活性

  • ·全套I/O和外部觸發(fā)器/同步組件


技術參數：

概述:多通道，高性能，測量速度高達2kHz
通道配置:1-4通道，帶可選/固定發(fā)射系數，每個通道可單獨配置
測溫范圍:50-3500°C
實時發(fā)射系數范圍:無
測量波長:UV to 2300 nm
讀取速率:高達2kHz
測量精度:±1.5℃
重復精度:±0.1℃℃，正常情況下
分辨率:0.001℃C
顯示:帶鍵盤輸入內置，4x21LCD屏，
數據I/O:RS-232,RS-422/486, and Ethernet
模擬輸出:0-10V或4-21mA
控制接口:外部觸發(fā)輸入，同步輸出，高低報警
電源:交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC
環(huán)境參數:5-40℃，非冷凝
物理尺寸:8.6 cm (H)x 15.2 cm (W) x 21.8 cm (D)
重量:2.0kg
安裝:底部M3X0.75螺孔
采樣響應時間:2kHz采樣速率時<2ms




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